悬浮AlGaAs集成非线性光子学
光学
2023-08-08 v1 应用物理
摘要
AlGaAs是一种极具前景的集成非线性光子学材料,具有极大的光学非线性和高折射率。然而,目前展现出高品质因子和紧致光约束的AlGaAs微环谐振器主要依赖晶圆键合技术,其制备工艺复杂。在此,我们提出悬浮AlGaAs波导与谐振器,作为高效集成非线性光子学的可行平台。由等离子干法刻蚀与化学湿法刻蚀结合形成的悬浮微环谐振器展现出2.1×10^6的本征品质因子Q,并记录了毫瓦量级阈值的Kerr光梳生成。我们的演示为在集成非线性光子学中应用AlGaAs器件开辟了新前景。
引用
@article{arxiv.2308.02988,
title = {Suspended AlGaAs-Integrated Nonlinear Photonics},
author = {Yuqian Zhang and Changzheng Sun and Bing Xiong and Jian Wang and Zhibiao Hao and Lai Wang and Yanjun Han and Hongtao Li and Yi Luo},
journal= {arXiv preprint arXiv:2308.02988},
year = {2023}
}
备注
12 pages, 8 figures