液态硅中凹形SiC {0001}表面的结构与形貌演化
材料科学
2022-02-28 v1
摘要
制备了凹形4H-SiC {0001}表面，并在纯液态硅中进行了重构，以研究SiC表面结构与形貌随方位角及离轴角的变化关系。在两个极性面上揭示了不同的表面特征，其中仅Si面反映出4H-SiC晶体的六重对称性。在Si面上，沿<1100>方向的台阶聚束强于<1120>方向，这与台阶边缘的成键状态有关。C面上观察到更显著的台阶聚束，但其对方位取向不敏感。Si面上的台阶小面化程更为强烈。台阶小面化在SiC {0001}表面的两种极性上均独立于离轴角。
引用
@article{arxiv.2202.12558,
title = {Structure and morphology evolution of concave-shaped SiC {0001} surfaces in liquid silicon},
author = {Xinming Xing and Takeshi Yoshikawa and Didier Chaussende},
journal= {arXiv preprint arXiv:2202.12558},
year = {2022}
}