氮化硅应力层在 SrTiO3 复杂氧化物薄片中诱导的弹性应变共享
材料科学
2020-02-27 v1
摘要
可利用氮化硅应力层在亚微米厚单晶 SrTiO3 薄片中引入精确选定的弹性应变。采用等离子体增强化学气相沉积保形生长的应力层在薄片中产生与氮化物残余应力大小一致的弹性应变。同步辐射 X 射线纳米衍射揭示，SrTiO3 薄片中引入的应变量级为 10^{-4}，与弹性模型的预测相符。这种在复杂氧化物中实现弹性应变共享的方法允许在宽广连续数值范围内选定应变，这是刚性基底上异质外延无法达到的效果。
引用
@article{arxiv.2002.11287,
title = {Stressor-Layer-Induced Elastic Strain Sharing in SrTiO3 Complex Oxide Sheets},
author = {J. A. Tilka and J. Park and Y. Ahn and A. Pateras and Z. Cai and P. G. Evans},
journal= {arXiv preprint arXiv:2002.11287},
year = {2020}
}