纳米晶石墨烯堆叠用于纳米机电（NEM）执行器应用
应用物理
2019-03-05 v1 材料科学
摘要
石墨烯纳米机电开关因其优异的开关性能（如低吸合电压和低接触电阻）而成为有前景的器件。采用合适的对置电极进行大规模制造仍然具有挑战性。在本工作中，我们报道了具有 70 纳米介质隔离层的纳米晶石墨烯（NCG）的堆叠。埋入式 NCG 层通过通孔形成实现接触，并用作驱动电极。金属化后，顶部 7.5 纳米薄的 NCG 层被图形化以形成双端固支梁，该结构通过氢氟酸刻蚀释放。通过在顶部与埋入式 NCG 层之间施加电压，在 1.5 V 以下观察到阶跃状电流增加，由可动梁与埋入式 NCG 的接触引起。由于薄的牺牲层和高梁长导致低的机械回复力，未观察到拉出。我们讨论了 NCG 堆叠方法在实现纳米机电（NEM）接触开关及诸如 AND 逻辑等先进逻辑器件方面的可能应用。
引用
@article{arxiv.1901.07754,
title = {Stacking of nanocrystalline graphene for Nano-Electro-Mechanical (NEM) actuator applications},
author = {Kulothungan Jothiramalingam and Marek E. Schmidt and Muruganathan Manoharan and Ahmed M. M. Hammam and Hiroshi Mizuta},
journal= {arXiv preprint arXiv:1901.07754},
year = {2019}
}
备注
11 pages, 6 figures