用于毫米波变换光学天线的硅微机械加工高对比度人工电介质
应用物理
2020-03-17 v1
摘要
变换光学方法与梯度折射率电磁结构依赖于空间变化的任意介电常数。这与近期对基于毫米波透镜的天线的关注相结合，要求介电变化具有高空间分辨率。多孔介质已被用于制造从微波到太赫兹频段的梯度折射率结构，但其对比度通常受限。我们证明，通过在匹配晶格上采用正多边形单元（六边形、正方形和三角形），可以实现范围在背景介电常数0.1至1.0之间的极高对比度介电常数。在高阻硅晶片上进行硅微机械加工（Bosch工艺），在WR28波导频段实现了1.25（硅的10%）的最小介电常数，专门针对拟定的39 GHz 5G通信频段。该方法可推广至太赫兹频段。
引用
@article{arxiv.1709.06943,
title = {Silicon Micromachined High-contrast Artificial Dielectrics for Millimeter-wave Transformation Optics Antennas},
author = {Nicolas Garcia and Wenlong Bai and Thibault Twahirwa and David Connelly and Jonathan Chisum},
journal= {arXiv preprint arXiv:1709.06943},
year = {2020}
}
备注
Presented at the 2017 APS-URSI Symposium, San Diego CA USA, July 14, 2017 (http://2017apsursi.org/Papers/ViewPapers.asp?PaperNum=2856)