用于远红外频率傅里叶变换光谱的硅分束器

我们报告了一种硅晶圆分束器的性能，该分束器适用于分辨率 $\Delta\nu>0.3 \text{ cm}^{-1}$ 的远红外频率傅里叶变换光谱。我们通过比较使用该分束器测得的透过率光谱与在该波段常用的标准 Mylar 分束器测得的光谱，对硅分束器进行了表征。我们发现，硅分束器在大部分红外波段的透过率显著高于 Mylar 分束器，而在某些有限范围内两者相当。2 毫米厚的硅分束器具有约 $0.7 \text{ cm}^{-1}$ 的干涉仪间距，这干扰了其在 $0.1 \text{ cm}^{-1}<\Delta\nu < 0.3 \text{ cm}^{-1}$ 范围内的使用。硅分束器的平均效率为 0.37，而 Mylar 分束器的最大效率为 0.35。由于 Mylar 的吸收，硅分束器在 $100$ 至 $400 \text{ cm}^{-1}$ 范围内效率尤其更高。