化学气相沉积中的自组装纳米结构形成
介观与纳米尺度物理
2015-06-16 v1 适应与自组织系统
摘要
当通过化学气相沉积在衬底上生长薄膜时，最初沉积层的演化在介观尺度上可用反应 - 扩散类型的动力学模型来描述。对于单原子层，此类模型描述了原子覆盖率的演化，这是由代表吸附 - 解吸和化学过程的反应项与 Cahn-Hilliard 类型的非线性扩散项共同作用的结果。这种组合可能导致在临界温度以下均匀沉积层的不稳定性。这种不稳定性触发了对应于衬底覆盖率规则空间变化的纳米结构的形成。图案的波长和对称性由动力学变量而非变分论据选定。根据反应诱导和扩散诱导非线性之间的平衡，可以获得一系列自组装结构，包括六边形点阵、条纹和各种类型的局域结构。这些结构可能引发不同类型的生长机制，包括 Volmer-Weber 型和 Frank-Van der Merwe 型生长。本文讨论了该方法在研究不同类型沉积单分子层中的相关性。
引用
@article{arxiv.1307.5744,
title = {Self-Assembled Nanostructure Formation in Chemical Vapor Deposition},
author = {Daniel Walgraef},
journal= {arXiv preprint arXiv:1307.5744},
year = {2015}
}