簇沉积生长纳米结构：综述

本文提供了分析由簇沉积生长而得纳米结构的简单模型的全面分析。后文详细阐述了纳米结构的潜在价值，并通过动力学蒙特卡罗模拟广泛研究了生长的早期阶段（亚单层范畴）。这些模拟在多种实验情形下进行：完全凝结、带蒸发再生的生长、在缺陷上核生长、簇-簇完全或无 coalescence... 论文的主要目标是帮助实验者分析其数据，以推断哪些过程对他们至关重要并对其进行量化。一款包括所有这些模拟程序的软件可免费向作者请求获得。我仔细讨论了从簇束流生长的实验，并展示了如何测量簇在表面上的 mobility： surprisingly 高的值被发现。对于簇沉积的未来技术应用而言， incident 簇的大小与基板上岛屿大小之间的关系是一个重要问题。给出一个近似公式，可根据所沉积材料的熔点来计算这两个尺寸的比值。最后，我研究了解释簇在基板上扩散及其相互作用结果（简单并置、部分或完全 coalescence...）的原子机制。