弹性效应对生长薄膜稳定性的影响
斑图形成与孤子
2013-07-22 v1 介观与纳米尺度物理
摘要
研究表明,原子沉积与非线性扩散的结合可能在临界温度以下导致基底上非均匀层的生长。此类系统的动力学属于 Cahn-Hilliard 类型,并辅以代表吸附 - 脱附过程的反应项。均匀层的不稳定性会导致纳米结构的形成,这些结构对应于基底覆盖率的规则空间变化。由于覆盖率的不均匀性会产生内应力,因此在薄膜厚度低于失配位错形核的临界厚度时,还需考虑覆盖率演化与薄膜弹性场之间的耦合。研究表明,这种耦合具有去稳定作用并有利于纳米结构的形成。它还有利于方形图案的形成,这可能与甚至主导仅由覆盖率动力学诱导的六边形或条纹状纳米结构相竞争。
引用
@article{arxiv.1307.5214,
title = {Elasticity effects on the stability of growing films},
author = {Daniel Walgraef},
journal= {arXiv preprint arXiv:1307.5214},
year = {2013}
}