原子在准晶衬底上的沉积：三维分子动力学研究

我们研究了当原子沉积到具有十重准晶序的衬底上时的三维结构形成。分子动力学计算表明，吸附层由有序的纳米尺度域组成，其取向由底层衬底的对称性决定。根据吸附原子之间以及吸附原子与衬底原子之间相互作用的相对强度，观察到不同的形貌，范围从逐层生长到团簇形成。我们还发现薄膜厚度同样会影响生长薄膜的整体结构：根据吸附原子之间相互作用的相对强度，随着沉积层数的增加，最靠近衬底的吸附层构型可能会发生结构相变。