通过相变材料的局部焦耳热实现 MEMS 中的可编程机械共振
介观与纳米尺度物理
2017-02-22 v1 强关联电子
摘要
本文报道了一种基于 VO2 薄膜的可编程微机械谐振器。利用焦耳热作为局部功率源，逐步驱动 VO2 在其金属-绝缘体相变温度附近发生相变，从而实现对多个机械本征频率状态的编程。通过局部控制内应力和机械性质，利用域的相共存来调节器件的刚度。本研究为开发机械可重构的纳米结构阵列开辟了前景。
引用
@article{arxiv.1702.06194,
title = {Programmable Mechanical Resonances in MEMS by Localized Joule Heating of Phase Change Materials},
author = {Nicola Manca and Luca Pellegrino and Teruo Kanki and Syouta Yamasaki and Hidekazu Tanaka and Antonio Sergio Siri and Daniele Marré},
journal= {arXiv preprint arXiv:1702.06194},
year = {2017}
}
备注
7 pages, 4 figures