利用温度依赖性防止红外椭偏仪中的过拟合：以熔融石英为例
光学
2025-06-18 v5 材料科学
应用物理
摘要
将振子模型拟合到变角光谱椭偏仪 (VASE) 数据可能会导致非唯一的、非物理的结果。我们展示了如何利用温度依赖趋势来防止过拟合并确保模型的物理性。作为案例研究，我们对不同等级的熔融石英 (SiO2) 进行了从室温到 600 {\deg}C 的中红外 VASE 测量。我们在每个温度下独立拟合振子模型，并通过观察振动振子参数中预期的单调趋势来确认模型的物理有效性。使用该技术，我们生成了熔融石英温度依赖复折射率的高精度数据集，用于对热发射器等中红外光学组件进行建模。
引用
@article{arxiv.2409.05323,
title = {Preventing overfitting in infrared ellipsometry using temperature dependence: fused silica as a case study},
author = {Shenwei Yin and Jin-Woo Cho and Demeng Feng and Hongyan Mei and Tanuj Kumar and Chenghao Wan and Yeonghoon Jin and Minjeong Kim and Mikhail A. Kats},
journal= {arXiv preprint arXiv:2409.05323},
year = {2025}
}
备注
Main text + supplementary (updated June 16, 2025). The data can be found at this Zenodo record: https://zenodo.org/records/15178466