利用Z扫描激光光反射法精确光学测量载流子迁移率

本文提出一种简单而精确的光学技术，用于测量半导体中的双极载流子迁移率。在光反射系统中使用紧聚焦高斯激光束，测量调制反射信号随样品离焦的Z(纵向)位移的变化。反射探测光束的调制分量是一高斯光束，其光斑由聚焦参数和复扩散长度决定。反射探测光束被收集并输入探测器，从而对光束的径向分布进行积分。这得到了信号Z依赖关系以扩散长度和复合寿命表示的解析表达式。通过迭代拟合程序获得扩散长度和复合寿命的最佳拟合值。根据爱因斯坦关系，将输出的扩散长度、复合寿命及其估计不确定度组合，得到迁移率及其不确定度。