石墨烯碳X射线透射窗口的性能提升
材料科学
2016-03-16 v1
摘要
采用CMOS兼容的CVD工艺，在6英寸晶圆上制备了用于EDX和XRF应用的石墨烯碳(GC) X射线透射窗口，该窗口对低于2.5 keV的X射线具有高透过性。开口直径7.4 mm、厚度770 nm的GC窗口可承受高达6.5 bar的压差。对于650 nm厚的GC，展示了其对氟K{\alpha} (0.677 keV)辐射的高达40%的透射率。GC薄膜在更高的X射线透射率和更好的机械稳定性方面优于铍(Be)窗口，同时避免了Be的毒性。采用光学轮廓仪观测到窗口制备过程中GC层的大变形。这似乎限制了当前可制备的GC窗口厚度。两步生长工艺可克服这些限制，并已实现厚度高达6 {\mu}m的窗口。
引用
@article{arxiv.1603.04609,
title = {Performance Improvement of Graphenic Carbon X-ray Transmission Windows},
author = {Sebastian Huebner and Natsuki Miyakawa and Andreas Pahlke and Franz Kreupl},
journal= {arXiv preprint arXiv:1603.04609},
year = {2016}
}
备注
7 pages