深近紫外激光辅助原子探针在多种材料体系中的性能评估
材料科学
2024-11-19 v1
摘要
原子探针断层扫描（APT）通过施加直流电压以及电压脉冲或激光脉冲相结合触发表面原子的可控场蒸发，实现近原子尺度的三维元素成图。随着原子探针选用的激光波长从近红外（1050 nm）过渡到更短波长，如绿光（532 nm）和近紫外，数据质量得到提升，可分析的材料范围也随之拓宽。一种波长为 257.5 nm 的新型商用激光原子探针（称为深紫外，DUV）近期已上市。然而，DUV 激光对不同类别材料的影响尚未得到系统研究。本研究利用具有不同激光波长但原理上可比的粒子检测系统的商用原子探针，考察了包括金属、半导体和氧化物在内的多种材料。基于四个关键指标——本底、检测事件、离子检测直方图和质量分辨能力——评估了 NUV 和 DUV 激光原子探针数据的质量。此外，在成品 APT 试样上施加薄层涂层可提升两种激光波长下的数据质量。
引用
@article{arxiv.2411.10506,
title = {Performance Evaluation of Deep,Near Ultraviolet Laser Assisted Atom Probes for a range of Material system},
author = {Chang-Gi Lee and Byeong-Gyu Chae and I-Jun Ro and Kyuseon Jang and Eric Woods and Jaemin Ahn and Seong Yong Park and Baptiste Gault and Se-Ho Kim},
journal= {arXiv preprint arXiv:2411.10506},
year = {2024}
}