面向非金属材料的原子探针分析的组成计量学
材料科学
2026-02-17 v1 仪器与探测器
摘要
自引入激光辅助原子探针断裂 (La-APT) 二十年后，该技术已在半导体材料和器件以及日益增长的无机非金属固体中， demonstrate 了对原子种类的三维分布进行独特的研究潜力。APT 在非金属体系的组成测量准确性是一个关键且常被低估的问题。本工作介绍了 APT 作为一种实验技术的原理，回顾了可能导致组成偏差的方面，特别强调了表面电场在支配实现测量的不同物理化学现象中的作用。综述了特定损失的可能机制以及评估组成偏差的方法，并提出了可能的校正方法。最后，基于本文建立的非金属材料 APT 中组成偏差的现状，为制定特定的最佳实践建议、以及将 APT 应用于新材料的前景提供了依据。
引用
@article{arxiv.2602.14565,
title = {Compositional Metrology of Atom Probe Applied to non-Metallic Materials},
author = {Enrico Di Russo and François Vurpillot and Lorenzo Rigutti},
journal= {arXiv preprint arXiv:2602.14565},
year = {2026}
}
备注
Review article and user guide. 30 Figures