氧化铝基板上 RF MEMS 开关功能的封装
其他计算机科学
2007-11-29 v1
摘要
近年来，无线通信的强烈需求推动了对 RF MEMS（射频微机电系统）传感器件（如微开关、可调电容器）应用的扩展开发，因为与传统通信组件相比，它具有更低的功耗、更低的损耗、更高的线性度和更高的 Q 因子。为了加速 RF MEMS 产品的商业化，封装技术的发展是必须预先解决的最关键问题之一。
引用
@article{arxiv.0711.3297,
title = {Packaging of RF Mems Switching Functions on Alumina Substrate},
author = {M. -K. El Khatib and A. Pothier and P. Blondy},
journal= {arXiv preprint arXiv:0711.3297},
year = {2007}
}
备注
Submitted on behalf of TIMA Editions (http://irevues.inist.fr/tima-editions)