关于二维衬底上畴生长速率常数的定义
统计力学
2021-06-23 v2 材料科学
摘要
在化学气相沉积(CVD)方法中,畴通过扩散的表面束缚物质在衬底上附着到固体畴的岛而生长。我们通过考虑畴边界的运动,构建了二维扩散下单一畴生长的过程。我们首先讨论两类畴面积生长速率常数的定义:一类通过 CVD 生长持续时间除畴尺寸定义,另一类通过时间除面积定义。随后,我们证明在反应限制生长下畴尺寸正比于时间,而在扩散限制生长下畴面积正比于时间。我们还证明,随着畴尺寸超过一特征尺寸,畴面积生长速率从反应限制生长转变为扩散限制生长。
引用
@article{arxiv.2104.08848,
title = {On the definition of the domain growth rate constant on a two dimensional substrate},
author = {Kazuhiko Seki},
journal= {arXiv preprint arXiv:2104.08848},
year = {2021}
}
备注
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