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使用全金属悬浮掩模制备基于铌的超导纳米器件

介观与纳米尺度物理 2015-06-15 v4

作者: S. Samaddar , D. van Zanten , A. Fay , B. Sacépé , H. Courtois , C. B. Winkelmann

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摘要

我们报道了一种基于铌的超导纳米器件制备新方法。通过用金属掩模代替通常的有机光刻胶掩模，克服了高质量铌的光刻图案化中众所周知的困难。通过制备和表征长而窄的超导线以及铌-金-铌邻近效应SQUID，证明了该制备工艺的质量。

关键词

铌超导纳米器件全金属悬浮掩模光刻图案化邻近效应SQUID

引用

@article{arxiv.1304.5381,
  title  = {Niobium-based superconducting nano-devices fabrication using all-metal suspended masks},
  author = {S. Samaddar and D. van Zanten and A. Fay and B. Sacépé and H. Courtois and C. B. Winkelmann},
  journal= {arXiv preprint arXiv:1304.5381},
  year   = {2015}
}