精确提取压阻系数的新方法
介观与纳米尺度物理
2016-01-11 v1
摘要
提出了一种扩展的压阻系数提取方法，以规避测试结构膜厚估算中的误差。该新方法需要建立积分应力矩阵元作为膜厚函数的模型。此外，必须使用两种具有不同膜厚的测试结构。这种改进的方法能够更可靠地估算压阻系数 和 以及所用测试结构的膜厚。
引用
@article{arxiv.1601.01996,
title = {New approach to exact extraction of piezoresistance coefficient},
author = {Zenon Gniazdowski and Bogdan Latecki and Pawel Kowalski},
journal= {arXiv preprint arXiv:1601.01996},
year = {2016}
}
备注
EUROSENSORS XIV, August 27-30, 2000, Copenhagen, Denmark. arXiv admin note: text overlap with arXiv:1601.01984