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具有亚 ppm 级检测限和低工作温度的纳米复合 NiO:Pd 氢传感器

材料科学 2014-01-22 v1

摘要

我们展示了化学电阻式纳米复合 NiO:Pd 氢传感器的制备结果,该传感器能够在 115-145 C 的温度范围内工作,检测低至 300 ppb 的空气氢气浓度。通过射频磁控溅射在硅和石英衬底上沉积了 NiO 薄膜,并对其结构和形貌性质进行了表征。通过脉冲激光沉积在 NiO 表面添加了 Pd 纳米颗粒,并在 Pd 沉积前后将薄膜作为氢传感器进行了测试。Pd 纳米颗粒的存在改善了传感器性能,实现了亚 ppm 级氢气浓度的检测。此外,传感器的响应时间缩短了二至四倍。

关键词

引用

@article{arxiv.1401.5122,
  title  = {Nanocomposite NiO:Pd hydrogen sensors with sub-ppm detection limit and low operating temperature},
  author = {M. Kandyla and C. Chatzimanolis-Moustakas and M. Guziewicz and M. Kompitsas},
  journal= {arXiv preprint arXiv:1401.5122},
  year   = {2014}
}