用于近室温甲烷传感的新型单相二氧化钒纳米结构薄膜
材料科学
2015-09-02 v1
摘要
本文首次报道了新型二氧化钒 (VO_2) 纳米结构薄膜的甲烷 (CH_4) 气体传感特性。该单相纳米结构是通过 V 靶的脉冲直流磁控溅射，随后在 550 ^oC 的 O_2 气氛中氧化合成的。通过控制 O_2 的分压以获得化学计量比的 VO_2，样品表现出金红石单斜晶对称性以及杆状纳米结构区域。这些纳米结构薄膜在 60-70 ^oC 温度范围内表现出可逆的半导体-金属相变。气体传感实验在存在 CH_4 的条件下于 25 ^oC 至 200 ^oC 的温度跨度内进行。这些实验表明，薄膜在低至 50 ^oC 的温度下（即处于半导体态时）响应良好。
引用
@article{arxiv.1509.00203,
title = {Novel single phase vanadium dioxide nanostructured films for methane sensing near room temperature},
author = {A. K. Prasad and S. Amirthapandian and S. Dhara and S. Dash and N. Murali and A. K. Tyagi},
journal= {arXiv preprint arXiv:1509.00203},
year = {2015}
}
备注
18 pages, 4 figures, journal