激光化学气相沉积生长的 Cro2/Cr2o3 薄膜的形貌与结构表征
材料科学
2009-11-11 v1 其他凝聚态物理
摘要
本工作报告了通过 KrF 激光辅助化学气相沉积合成铬（III, IV）氧化物薄膜。在含有氧气和氩气的动态气氛中，通过 Cr(CO)6 的光解离，将薄膜沉积在室温下的蓝宝石衬底上。对工艺参数的研究表明，O2 与 Cr(CO)6 的分压比和激光通量是需要精确控制以共沉积两种晶相氧化物的主要参数。在激光通量为 75 mJ cm-2 且分压比约为 1 的条件下，合成了与这种两相体系一致的薄膜。PACS：81.15.Fg, 81.15.Kk, 81.05.Je
引用
@article{arxiv.cond-mat/0605592,
title = {Morphological and Structural Characterization of Cro2/Cr2o3 Films Grown by Laser-CVD},
author = {P. M. Sousa and A. J. Silvestre and N. Popovici1 and O. Conde},
journal= {arXiv preprint arXiv:cond-mat/0605592},
year = {2009}
}
备注
17 pages, 4 figures