金属互连线中电迁移现象的 Monte Carlo 模拟
凝聚态物理
2007-05-23 v1
摘要
本文基于随机电阻网络中同时发生的两个渗流过程之间的竞争，研究了金属互连线中的电迁移（EM）。通过外部电流驱动的空位随机产生与恢复，描述了与物质输运及由此引起的内应力增长相关的效应。Monte Carlo 模拟使我们能够在统一的理论框架内研究 EM 退化的多个相关方面，如损伤形貌、失效时间分布、存在成分效应时的早期电阻变化、Black 定律、几何效应等。模拟结果与实验发现总体吻合。
引用
@article{arxiv.cond-mat/0110647,
title = {Monte Carlo simulation of electromigration phenomena in metallic lines},
author = {C. Pennetta and L. Reggiani and E. Alfinito},
journal= {arXiv preprint arXiv:cond-mat/0110647},
year = {2007}
}
备注
10 pages, elsart, proceedings of the Conference MCM2001