用于测量衍射光栅上定制周期性的计量方法
天体物理仪器与方法
2021-04-26 v1
摘要
我们提出了一种新型、廉价的台式方法，用于以大映射分辨率和高测量精度测量槽距，称为高精度周期光栅映射器（GMAP）。GMAP 能够测量大的槽距变化和非平行槽，这两者均无法通过光学干涉测量。在本文中，我们详述了 GMAP 的校准与设置，并使用该仪器测量了三种不同的光栅。其中两个被测光栅具有定制化槽纹图案，使其无法通过光学干涉等传统方法测量。我们对该工具的实现达到了 0.1 mm×0.1 mm 的空间分辨率和对于 3 μm 尺寸槽距的 1.7 nm 周期误差。
引用
@article{arxiv.2104.11262,
title = {Metrology for Measuring Custom Periodicities on Diffraction Gratings},
author = {Ningxiao Zhang and Randall McEntaffer and Ross McCurdy and Casey DeRoo},
journal= {arXiv preprint arXiv:2104.11262},
year = {2021}
}
备注
14 pages, 16 figures