揭开周期结构测量的面纱
数据分析、统计与概率
2023-02-13 v1
摘要
周期结构常见于纳米科学与纳米技术的诸多领域，其中许多用于计量目的，或是校准仪器，或是构成编码器等量测器件的基础。从形貌测量（例如使用扫描探针显微镜 (SPM) 方法进行的测量）评估一维或二维周期结构的周期，可通过不同方法实现，过去已提出许多光栅评估方法并应用于少量实例。确定光栅节距的最优方法并非显而易见。本文报告了大规模广泛仿真与分析的结果，以评估直接处理与傅里叶空间数据处理方法的性能。我们在不同测量条件下对多种不同光栅进行了数千次仿真，并包含现实情形中遇到的缺陷仿真。本文最后总结了各方法的优缺点，并对周期结构的测量及处理用算法开发给出了实用建议。
引用
@article{arxiv.2208.12151,
title = {Demystifying the measurement of periodic structures},
author = {David Nečas and Andrew Yacoot and Petr Klapetek},
journal= {arXiv preprint arXiv:2208.12151},
year = {2023}
}
备注
34 pages, 11 figures, to be submitted to Measurement Science and Technology