获取光栅光谱衍射效率的无运动快速测量技术

衍射光栅光谱衍射效率的测量对于改进制造工艺和评估光栅在实际应用中的功能至关重要。当前流行测量技术的缺点是由于测量过程中数百次重复两类耗时的机械运动（即捕捉光束的机械臂旋转，以及光栅单色仪输出波长的机械改变）而导致速度慢。这一限制极大制约了该技术在动态测量中的使用。在本稿件中，我们提出了一种无运动快速测量技术以获取平面光栅的光谱衍射效率，有效消除了上述两类机械运动。在此，测试了消除第一类机械运动的方案，实验结果表明所提方法可成功用于测量平面透射光栅在 550-750 nm 波长范围内的光谱衍射效率。消除第二类机械运动的方案本文未验证；但我们认为其非常直接且可商用。我们估计结合两种方案可在毫秒时间尺度上实现光谱测量。我们的无运动快速测量技术将在动态测量环境与大规模工业检测中找到广泛应用。