由开环测量确定谐振式传感器闭环精度的方法

谐振式传感器通过测量谐振器的谐振频率来确定被测参数。对于快速连续传感，期望谐振式传感器工作于闭环配置中，其中反馈回路确保谐振器始终在其谐振频率附近被激励，从而即使存在谐振频率漂移或波动也能使精度最大化。然而，在闭环配置中，精度不仅由谐振器本身决定，还由反馈回路决定，即便反馈电路无噪声。因此，为表征谐振式传感器的固有精度，常采用开环配置。为将这些测量与谐振器的实际闭环性能相联系，期望有一种关系可由开环表征数据确定谐振器的闭环精度。本工作中，我们提出一种仅依赖谐振器开环表征来估计闭环谐振式传感器精度的方法。该过程有益于谐振式传感器的快速性能估计与基准测试，因其不需实际闭环传感器运行，从而独立于反馈回路的具体实现。我们通过由开环测量确定机械谐振器的闭环精度并与实际闭环测量比较，对方法进行了实验验证。