大面积衬底转移 GaAs/AlGaAs 晶体涂层机械衰减研究

我们研究了 GaAs/AlGaAs 多层膜中的弹性损耗，以帮助确定这些涂层对未来引力波探测器的适用性。我们测量了具有改进衬底抛光与键合方法的大尺寸(约 70-mm 直径)衬底转移晶体涂层样品。当将弹性损耗分解为体损耗与剪切损耗时，显示其完全来源于体损耗，$\phi_{\mathrm{Bulk}} = (5.33 \pm 0.03)\times 10^{-4}$，而 $\phi_{\mathrm{Shear}} = (0.0 \pm 5.2) \times 10^{-7}$。这些结果预测在 35-mm 长腔中、光斑尺寸(半径)为 250-$\mu$m 的 8-mm 直径涂层的涂层损耗为 $\phi_{\mathrm{coating}} = (4.78 \pm 0.05) \times 10^{-5}$，与直接热噪声测量公布的 $\phi_{\mathrm{coating}} = (4 \pm 4) \times 10^{-5}$ 结果一致。键合缺陷被证明对整体弹性损耗影响甚微。