用于超镜光学损耗表征的近红外扫描腔衰荡技术
仪器与探测器
2019-07-24 v2
摘要
本文描述了一种用于探测高反射率镜面上光学损耗空间变化的腔衰荡系统。该系统被用于检测衬底转移晶体超镜并量化制造工艺缺陷的影响。腔衰荡生成的空间测量与差分干涉反差显微图像之间观察到极好的一致性。对晶体超镜中心进行的 2 mm 直径腔衰荡扫描显示出高度均匀的镀膜特性，其额外损耗变化低于 1 ppm。
引用
@article{arxiv.1903.09665,
title = {Near-Infrared Scanning Cavity Ringdown for Optical Loss Characterization of Supermirrors},
author = {Gar-Wing Truong and Georg Winkler and Tobias Zederbauer and Dominic Bachmann and Paula Heu and David Follman and Mark White and Oliver Heckl and Garrett Cole},
journal= {arXiv preprint arXiv:1903.09665},
year = {2019}
}