二次离子质谱数据的质谱分析与量化
材料科学
2015-10-28 v2
摘要
本工作强调了通过结合所有可能的 Cs 复合离子的强度来改进 SIMS（二次离子质谱）中 Cs 复合离子量化方面的可能性。识别所有可能的 Cs 复合离子需要对感兴趣材料的质谱进行定量分析。质谱分析的重要步骤包括：根据元素同位素丰度表构建组成物种的指纹质谱，构建线性方程组以获得这些物种的强度，求解方程组，评估解，并在需要时采用正则化过程。本文全面描述了这些步骤，并展示了将其应用于从 D9 钢获得的 SIMS 质谱的结果。结果表明，覆盖整个溅射团簇范围的求和程序所得结果优于每个元素仅使用单个 Cs 复合离子的结果。此外，提供了对 SS316LN 钢样品质谱应用正则化过程的结果，以证明正则化的必要性。
引用
@article{arxiv.1409.7493,
title = {Mass spectral analysis and quantification of Secondary Ion Mass Spectrometry data},
author = {A. K. Balamurugan and S. Dash and A. K. Tyagi},
journal= {arXiv preprint arXiv:1409.7493},
year = {2015}
}
备注
10 pages, 3 figures; added reference for section "Theory", a few sentences modified for clarity