通过优化沉积条件实现低损耗 Sb₂S₃ 光学相位 shifter
光学
2025-05-20 v2 应用物理
摘要
通过对不同沉积功率和Ar流量下沉积Sb₂S₃薄膜的原子浓度进行定量评估，我们揭示了随着沉积功率和Ar流量降低，沉积的Sb₂S₃薄膜趋于于化学计量比。我们对Sb₂S₃的光学性能进行表征，结果表明，较低的沉积功率使得Sb₂S₃作为近红外(NIR)范围内光学相位 shifter的性能指标更佳。在此基础上，我们实现了在1.55 μm波长下0.33 dB/π的相位移损耗，这是NIR范围内已知最低损耗的Sb₂S₃相位 shifter之一。
关键词
引用
@article{arxiv.2505.10752,
title = {Low-loss Sb$_2$S$_3$ Optical Phase Shifter Enabled by Optimizing Sputtering Conditions},
author = {Yuto Miyatake and Tomohiro Anda and Yosuke Wakita and Kotaro Makino and Shogo Hatayama and Makoto Okano and Kasidit Toprasertpong and Shinichi Takagi and Mitsuru Takenaka},
journal= {arXiv preprint arXiv:2505.10752},
year = {2025}
}
备注
14 pages, 14 figures, 3 tables