低损耗单晶硅钛酸锆集成光子器件，内在品质因子超过1百万
光学
2025-07-29 v2 应用物理
摘要
钛酸锆 (BTO) 因其巨大的非线性光学系数，尤其是Pockels系数，已在集成光子技术领域迎来广泛关注，这在很大程度上归功于新近可获得的薄膜衬底。本文报道了一种无再沉积干法刻蚀技术，用于单晶BTO-on-绝缘体光子器件，能够制备出粗糙度极低、垂直度高的波导结构。通过该技术，我们实验性地实现了首个BTO微谐振腔，内在品质因子，波导传播损耗仅为0.32 dB/cm，这是目前报道的任何BTO基集成平台中最低的损耗值。我们还实现了马赫-齐迪仪幅度调制器， Vcm，有效电光系数 pm/V。
引用
@article{arxiv.2507.17150,
title = {Low loss monolithic barium titanate on insulator integrated photonics with intrinsic quality factor >1 million},
author = {Gwan In Kim and Jieun Yim and Gaurav Bahl},
journal= {arXiv preprint arXiv:2507.17150},
year = {2025}
}
备注
16 pages and supplementary information is included