纳米周期 Mg/Co 多层膜中 Zr 的引入
材料科学
2011-11-23 v1 其他凝聚态物理
光学
摘要
我们研究了在旨在作为极紫外（EUV）光谱范围光学组件的纳米周期 Mg/Co 结构中引入第三种材料，即 Zr。我们设计了 Mg/Co、Mg/Zr/Co、Mg/Co/Zr 和 Mg/Zr/Co/Zr 多层膜，随后分别通过 X 射线和 EUV 反射率测量在结构质量和光学性能方面对其进行了表征。对于 Mg/Co/Zr 结构，在 25.1 nm 和 45 度掠入射下反射率值等于 50%，并在 200°C 退火后达到 51.3%。我们根据一个周期内的材料顺序讨论了测得的三层系统的 EUV 反射率值，并将其与 Larruquert 的理论模型预测进行了比较。指出了其可能的应用。
引用
@article{arxiv.1111.4546,
title = {Introduction of Zr in nanometric periodic Mg/Co multilayers},
author = {K. Le Guen and M. -H. Hu and J. -M. André and Philippe Jonnard and S. -K. Zhou and H. -C. Li and J. -T. Zhu and Z. -S. Wang and N. Mahne and Angela Giglia and S. Nannarone},
journal= {arXiv preprint arXiv:1111.4546},
year = {2011}
}
备注
19 pages