基于射频溅射 ZnO/Al:ZnO 多层膜的红外超材料
材料科学
2018-01-26 v1
摘要
双曲超材料利用悬浮于介电介质中的金属丝或金属与介电质交替层来产生人工光学各向异性。此处我们通过射频磁控溅射沉积技术制备了 ZnO/Al:ZnO（AZO）多层膜。我们制备的多层膜满足 I 型双曲超材料所需的条件。通过角度透射率和光谱椭偏测量研究了单个 AZO 和 ZnO 薄膜以及多层膜的光学响应。使用非局域修正的有效介质近似（EMA）预测了多层系统的光学响应。使用单轴材料模型和 EMA 模型对多层系统的光谱椭偏数据进行了建模。理论与实验研究均证实该多层膜在 2.2 {\mu}m 波长处发生双曲转变。
引用
@article{arxiv.1801.08201,
title = {Infrared metamaterials by RF sputtered ZnO/Al:ZnO multilayers},
author = {Kevin C. Santiago and Rajeh Mundle and Curtis White and Messaoud Bahoura and Aswini K. Pradhan},
journal= {arXiv preprint arXiv:1801.08201},
year = {2018}
}