纳米级层状系统的数值椭偏分析(NEA)
应用物理
2020-06-16 v1 光学
摘要
本文提出了一种简单且鲁棒的方法,能够高精度预测单层和多层纳米结构的光学性质。该方法利用COMSOL Multiphysics仿真平台,并通过三个数值复杂度递增的实例进行了验证:i)沉积在玻璃衬底上的单层Ag薄膜(20 nm);ii)由五组Ag/ITO(氧化铟锡)双层组成、每层厚度20 nm的超材料;iii)基于三材料元胞(AZO/ITO/Ag)但无厚度周期性的系统(AZO指Al2O3/氧化锌)。数值结果已与针对上述专门制备的纳米结构所进行的实际椭偏测量实验数据进行了比较。所得一致性极好,表明本研究是设计宽光谱范围工作材料的有效途径。
引用
@article{arxiv.1912.05717,
title = {A numerical ellipsometric analysis (NEA) of nanoscale layered systems},
author = {Giuseppe Emanuele Lio and Giovanna Palermo and Roberto Caputo and Antonio De Luca},
journal= {arXiv preprint arXiv:1912.05717},
year = {2020}
}
备注
3 pages, 4 figures