界面各向异性诱导的双层膜中互混的不对称性
材料科学
2007-05-23 v1
摘要
通过分子动力学(MD)模拟和俄歇电子能谱深度剖析(AES-DP)分析,研究了Pt/Ti/Si衬底(Pt/Ti)和Ta/Ti/Pt/Si衬底(Ti/Pt)多层膜中离子溅射诱导的互混。实验证据表明Pt/Ti和Ti/Pt中的互混存在不对称性。通过AES-DP和MD模拟均观察到重Pt原子注入Ti衬底的意外增强。在Ti/Pt中,我们观察到比Pt/Ti中弱得多的互扩散。这种不对称性通过超热粒子在质量各向异性界面处的背散射来解释,并通过计算机原子模拟重现。AES-DP测量支持了我们之前对质量各向异性双层膜的预测(P. Sule, M. Menyhard, Phys. Rev., B71, 113413 (2005))。
引用
@article{arxiv.cond-mat/0510077,
title = {Interface-anisotropy induced asymmetry of intermixing in bilayers},
author = {P. Süle and M. Menyhárd and L. Kótis and J. Lábár and W. F. Egelhoff},
journal= {arXiv preprint arXiv:cond-mat/0510077},
year = {2007}
}
备注
4 pages, 4 figures, [email protected]