Pt/Ti中的不对称相互混合
材料科学
2007-05-23 v1
摘要
通过蒙特卡罗TRIM、分子动力学（MD）模拟以及俄歇电子能谱深度剖析（AES-DP）分析，研究了Pt/Ti/Si衬底（Pt/Ti）和Ta/Ti/Pt/Si衬底（Ti/Pt）多层膜中离子溅射诱导的相互混合。实验证据表明，Pt/Ti和Ti/Pt中的混合存在不对称性。在Ti/Pt中，我们得到的相互扩散比Pt/Ti中弱得多。Pt原子向Ti衬底中异常增强的相互扩散也已通过模拟得到证实。我们能够使用TRIM和MD模拟捕捉离子束溅射过程中混合的基本特征，并获得可与实验测量相比较的合理的界面展宽值。然而，这种不对称性的起源仍知之甚少。
引用
@article{arxiv.cond-mat/0610227,
title = {Asymmetric intermixing in Pt/Ti},
author = {P. Süle and M. Menyhárd and L. Kótis and J. Lábár and W. F. Egelhoff},
journal= {arXiv preprint arXiv:cond-mat/0610227},
year = {2007}
}
备注
7 pages, 3 figures, 1 table, submitted to JAP, fig1a,1b are excluded do to size limit problem (can be seen at http://www.mfa.kfki.hu/~sule/animations/ptti.htm)