基于反馈控制激光剥离制造微镜模板的高产工艺
光学
2026-04-20 v1 仪器与探测器
摘要
我们提出了一种高产制造硅材料中凹面微镜模板的方法，采用反馈控制的 CO2 激光剥离技术，并实现精确的原位定位。实时监测剥离过程中产生的白光发射，用于终止激光暴露，从而减少镜面深度和曲率半径之间的 shot-to-shot 变异性。为确保不同基板上的可重复单次处理，我们采用集成到制造工作流程中的原位相扫描干涉仪显微镜对样品位置进行校准。该方法使可靠地制造浅镜模板，曲率半径可调范围约为 20 到数百微米，几何方差相对误差可低至 3%。所制造的镜片适用于光学共振腔，通过实现 finesse 为 37000 的紧凑型平凸 Fabry--Perot 微腔进行验证。该装置为 cavity 量子电动力学和 cavity optomechanics 应用提供了简单且自动化的可重复微镜制造途径。
引用
@article{arxiv.2604.16150,
title = {High-yield fabrication of micromirror templates via feedback-controlled laser ablation},
author = {Daniel Allepuz-Requena and Jonas Schou Neergard-Nielsen and Alexander Huck and Ulrik Lund Andersen},
journal= {arXiv preprint arXiv:2604.16150},
year = {2026}
}