激光辅助湿法刻蚀制备的高保真玻璃微轴锥透镜
光学
2022-02-02 v1 应用物理
摘要
我们报道了利用激光辅助湿法刻蚀(LAE)与激光抛光制备玻璃微轴锥透镜。所采用的技术依赖于飞秒激光的高效直写工艺，可在加热的氢氧化钾(KOH)溶液中刻蚀出高保真轮廓。随后通过二氧化碳(CO2)激光抛光平滑剩余表面粗糙度。该抛光仅限于元件表层，因此尖端仅被轻微圆化，曲率半径约为200 {\mu}m。进而以直径500 {\mu}m的轴锥透镜表明，准贝塞尔光束在紧邻尖端处生成，并在近3.5 mm的传播距离内保持5.3 {\mu}m的直径。
引用
@article{arxiv.2110.12212,
title = {High-fidelity glass micro-axicons fabricated by laser-assisted wet etching},
author = {Jean-Loup Skora and Olivier Gaiffe and Sylwester Bargiel and Jean-Marc Cote and Laurent Tavernier and Michel de Labachelerie and Nicolas Passilly},
journal= {arXiv preprint arXiv:2110.12212},
year = {2022}
}