利用椭圆贝塞尔光束单次超快激光加工高深宽比纳米通道
应用物理
2017-11-22 v1 光学
摘要
超快激光彻底改变了材料加工，为许多科学领域开辟了大量新应用。一项允许通过非烧蚀过程解理透明材料的新技术，基于在材料内部聚焦并平移高强度激光束，以诱导产生轮廓分明的内部应力平面。这使得在不产生碎屑的情况下实现材料分离。在此，我们使用一种经设计具有横向椭圆空间轮廓的非衍射光束，在玻璃中生成尺寸为 350 nm x 710 nm 的高深宽比椭圆通道，并在随后的解理中获得亚微米级的表面均匀性。
引用
@article{arxiv.1710.03678,
title = {Single shot ultrafast laser processing of high-aspect ratio nanochannels using elliptical Bessel beams},
author = {R. Meyer and M. Jacquot and R. Giust and J. Safioui and L. Rapp and L. Furfaro and P. -A. Lacourt and J. M. Dudley and F. Courvoisier},
journal= {arXiv preprint arXiv:1710.03678},
year = {2017}
}
备注
5 pages, 4 figures