基于扫描莫尔条纹的扫描透射电子显微镜快速测厚方法
材料科学
2021-11-15 v1 仪器与探测器
摘要
样品厚度是透射电子显微镜（TEM）成像中的重要参数，用于解释图像衬度并理解性能与微观结构之间的关系。在本研究中，我们提出了一种基于扫描莫尔条纹（SMF）在扫描透射电子显微镜（STEM）模式下测定厚度的方法。利用聚焦系列SMF成像，可在中倍率下原位测定样品厚度，并在很大程度上避免电子束损伤与污染。该方法为TEM成像中的厚度测定提供了一种快速便捷的途径，尤其适用于金属有机框架等电子束敏感材料。
引用
@article{arxiv.2111.06746,
title = {Fast determination of thickness through scanning moir\'e fringe in scanning transmission electron microscopy},
author = {Pengfei Nan and Zhiyao Liang and Yue Zhang and Yangrui Liu and Dongsheng Song and Binghui Ge},
journal= {arXiv preprint arXiv:2111.06746},
year = {2021}
}
备注
11 pages, 4 figures