基于透射电子显微镜热力学散射的晶体倾斜自动检测与映射

对晶体试样的透射电子显微镜（TEM）数据的定量解释通常需要准确了解局部晶体取向。本文提出了一种方法，利用动量分辨率的扫描 TEM（STEM）数据来确定从主要区轴到局部 mistilt 的值。该方法基于单一衍射图案中 Kikuchi 带的几何分析，由此获得 Laue 圆的圆心。虽然该方法不局限于收敛照明，但本文采用对应于高分辨率 STEM 设置的单元格平均衍射图案来开发。在仿真研究中，发现约为 0.1mrad 的准确度。该方法在自动化软件中实现，并应用于晶体倾斜和平面旋转映射的两个实验案例。特别是， presented了高 Mn 钢和等离子体生长的 La$_{\text{0.7}}$Sr$_{\text{0.3}}$MnO$_{\text{3}}$-SrTiO$_{\text{3}}$ 界面上的取向图。结果确认了仿真研究的估计，并表明在直径超过 100nm 且以单元格实空间取样下，倾斜映射可以持续进行。