基于像素化探测器的扫描会聚束电子衍射对二元非晶材料的局域厚度与成分测量
材料科学
2020-05-20 v1
摘要
我们通过衍射测量了 SiO2 基玻璃材料的局域成分与厚度。利用四维扫描透射电子显微术（4D-STEM），我们在每个扫描点获取衍射。将所得衍射与模拟衍射图样比较，尝试测量局域成分与厚度。尽管该方法需要一些约束条件，但其以相当于 EELS 十分之一或更少的电子剂量实现了局域成分与厚度的测量。
引用
@article{arxiv.2005.09337,
title = {Local thickness and composition measurements from scanning convergent-beam electron diffraction of a binary non-crystalline material obtained by a pixelated detector},
author = {K. Nakazawa and K. Mitsuishi and K. Shibata and S. Amma and T. Mizoguchi},
journal= {arXiv preprint arXiv:2005.09337},
year = {2020}
}
备注
15 pages, 10 figures, 6 supporting figures