新型层状材料的外延：二维硫族化合物与弱范德华相互作用的挑战
材料科学
2020-10-12 v1
摘要
新材料在纳米技术中的应用开辟了新前景并促成了突破性创新。二维范德华材料，更具体地说是二维硫族化合物，是一类有望在半导体工业中应用的新材料。然而，依赖工业兼容制造工艺来集成范德华材料仍是一项重大挑战。目前这将这些新材料的应用限制在科研实验室环境中。大面积且单晶的范德华材料生长是满足半导体工业严苛要求的最重要条件之一。本综述通过外延生长工艺，增进了对范德华材料——更具体地是二维硫族化合物——集成的更一般性理解。这可进一步推进将（准）范德华同质与异质结构大面积、单晶且无缺陷的外延集成到半导体工业广阔世界中的愿景。
引用
@article{arxiv.2010.04657,
title = {Epitaxy of new layered materials: 2D chalcogenides and challenges of weak van der Waals interactions},
author = {Wouter Mortelmans and Stefan De Gendt and Marc Heyns and Clement Merckling},
journal= {arXiv preprint arXiv:2010.04657},
year = {2020}
}