面向等离子体的电介质中壁电荷的电子能量损失谱

我们提出一种装置，能够通过电子能量损失谱确定与等离子体接触的电正性电介质所累积的电子密度。它基于插入壁凹陷中的双层结构。该结构由所关注电介质的面向等离子体的薄膜和衬底层组成，旨在将等离子体诱导的多余电子限制在薄膜区域内。它们引起的电荷涨落随后可通过近镜面电子反射从衬底背面读出。为在这种散射几何中获得由多余电子引起的强电荷敏感反射极大，薄膜很可能需预先进行n型掺杂且足够薄，同时由衬底维持机械稳定性。我们通过计算蓝宝石薄膜置于CaO层之上的损失谱证明了该提议的可行性。我们发现一个随多余电子密度强烈移动的反射极大，并建议将其用于其诊断。