EUV诱导脉冲氢等离子体中的电子曳力
等离子体物理
2021-12-28 v1
摘要
极紫外(EUV)诱导的脉冲等离子体因其瞬态特性而独特：等离子体在脉冲开始时(EUV功率开启时)的非热态与脉冲末端(~20 us)的热态之间切换。研究表明，尽管在脉冲开始时氢等离子体中作用于纳米尺寸颗粒的电子曳力相较于离子曳力可忽略不计，但在脉冲末端其可占主导地位，并能在颗粒输运中发挥重要作用，从而导致半导体芯片生产技术的缺陷问题。
引用
@article{arxiv.2112.13073,
title = {Electron drag force in EUV induced pulsed hydrogen plasmas},
author = {M. Chaudhuri and A. Yakunin and M. van de Kerkhof and R. Snijdewind},
journal= {arXiv preprint arXiv:2112.13073},
year = {2021}
}