超薄 LaAlO$_3$-SrTiO$_3$ 场效应晶体管中的高效电荷调控
介观与纳米尺度物理
2019-09-30 v1 材料科学
应用物理
摘要
在 LaAlO-SrTiO 界面处，可通过调控载流子密度触发电子相变，使该系统成为实现多功能电子器件的极佳候选。在此，我们报道了局域栅控 LaAlO-SrTiO 场效应器件中的可重复晶体管操作，其 LaAlO 介电层仅四个原胞厚，即该界面处导电的临界厚度。如由电容-电压测量所提取，这一极薄介电层在 V 的栅压窗口内可实现 cm 的极高效率电荷调控。这些测量还揭示了栅极与源极间较大的杂散电容，给纳米尺度器件操作带来复杂性。尽管 LaAlO 厚度很小，我们观察到可忽略的栅极漏电流，并将其归因于导电态向 SrTiO 衬底的延伸。
引用
@article{arxiv.1909.12586,
title = {Efficient charge modulation in ultrathin LaAlO$_3$-SrTiO$_3$ field-effect transistors},
author = {A. E. M. Smink and B. Prabowo and B. Stadhouder and N. Gauquelin and J. Schmitz and H. Hilgenkamp and W. G. van der Wiel},
journal= {arXiv preprint arXiv:1909.12586},
year = {2019}
}
备注
5 pages, 4 figures. The following article has been submitted to Applied Physics Letters