沉积速率对铜表面形貌的影响
统计力学
2015-06-12 v1
摘要
我们使用标准分形分析和 Markov 方法，进一步研究了不同表面的粗糙度和多重分形特性。利用原子力显微镜技术（AFM），研究了沉积速率对生成相同厚度铜薄膜地形粗糙表面的影响。结果表明，随着沉积速率的增加，相关长度（晶粒尺寸）和 Markov 长度减小，粗糙度指数降低，且表面变得更加多重分形。实际上，降低沉积速率会增加嵌入粒子的弛豫时间。
引用
@article{arxiv.1301.4636,
title = {Effects of coating rate on morphology of copper surfaces},
author = {S. Motamen and M. Vahabi and G. R. Jafari},
journal= {arXiv preprint arXiv:1301.4636},
year = {2015}
}