基于光图案投影至光电导开关的高压执行器阵列动态控制
仪器与探测器
2022-10-05 v1
摘要
迄今为止，控制高压执行器阵列依赖于昂贵的微电子工艺或将每个执行器单独布线至单个片外高压开关。本文提出一种替代方法，使用片上光电导开关配合光投影系统来单独寻址高压执行器。每个执行器连接到一个或多个标称关断的开关，除非使用直接光照将其开启。我们选用氢化非晶硅作为光电导材料，并完整表征了其光导与暗导之比、击穿场强和光谱响应。所得开关非常稳健，我们提供了其制备工艺的完整细节。我们证明这些开关可集成于不同架构中以支持交流及直流驱动的执行器，并给出其功能设计的工程指南。为展示本方法的通用性，我们展示了光电导开关在两个截然不同的应用中的使用：控制微米级栅电极以在微流控腔中图案化流场，以及控制厘米级静电执行器以产生用于触觉显示的机械形变。
引用
@article{arxiv.2210.01503,
title = {Dynamic control of high-voltage actuator arrays by light-pattern projection on photoconductive switches},
author = {Vesna Bacheva and Amir Firouzeh and Edouard Leroy and Aiste Balciunaite and Diana Davila and Israel Gabay and Federico Paratore and Moran Bercovici and Herbert Shea and Govind Kaigala},
journal= {arXiv preprint arXiv:2210.01503},
year = {2022}
}